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  水環(huán)式真空泵系列
 
2BV型水環(huán)式真空泵
 
2BE型水環(huán)式真空泵
 
  旋片式真空泵系列
 
 
 
 
 
  羅茨真空機(jī)組系列
 
 
JZJBA羅茨水環(huán)真空機(jī)組
 
JZJ2B羅茨水環(huán)真空機(jī)組
 
 
JZPH羅茨滑閥真空機(jī)組
 
 
 
 
 
 
  水噴射真空機(jī)組系列
 
 
 
 
 
FQSWJ防腐型汽水串聯(lián)真空機(jī)組
  其它真空機(jī)組
SZJ型深井真空機(jī)組
ZKJ型真空箱機(jī)組
JZJWLW型無油立式真空機(jī)組
 
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真空常識(shí)
真空單位換算 
unit

Pa

Torr
微米汞柱
μmHg
微巴
μbar
毫巴
mbar
大氣壓
atm
工程大氣壓
am
英寸汞柱
inHg
磅/英寸2
lb/in2
1 Pa
1
7.5
×10-3
7.5
10
10-2

9.86923
×10-6

1.0197
×105
2.953
×10-4
1.450
×10-4
1 Torr
133.32
1
103
1333.2
1.3332
1.31579
×10-3
1.3595
×10-3
3.937
×10-2
1.934
×10-2
1 μmHg
0.13332
10-3
1
1.3332
1.3332
×10-3
1.31579
×10-6
1.3595
×10-6
3.937
×10-5
1.934
×10-5
1 μbar
10-1
7.5
×10-4
7.5
×10-1
1
10-3
9.86923
×10-7
1.0197
×10-6
2.953
×10-5
1.450
×10-5
1 mbar
102

7.5
×10-1

7.5
×102
103
1
9.86923
×10-4
1.0197
×10-3
2.953
×10-2
1.450
×10-2
1 atm
101325
760
760×103
1013.25
×103
1013.25
1
1.0333
29.921
14.696
1 am
98066.3
735.56
735.56
×103
980663
980663
×10-3
0.967839
1
28.959
14.223
1 inHg
3386
25.4
25.4×103
3.386×104
33.86
3.342
×10-2
3.453
×10-2
1
4.912
×10-1
1 lb/in2
6895
51.715
51.715
×103
6.895×104
68.95
6.805
×10-2
7.031
×10-2
2.086
1
飽和水蒸汽的壓力與溫度的關(guān)系 

溫度℃

水蒸氣壓力 MPa

相應(yīng)真空度 MPa

22

0.00264

0.09869

24

0.00298

0.09835

26

0.00336

0.09797

28

0.00378

0.09755

30

0.00424

0.09709

32

0.00475

0.09658

34

0.00532

0.09601

36

0.00594

0.09539

38

0.00662

0.09471

40

0.00738

0.09395

溫度℃

水蒸氣壓力 MPa

相應(yīng)真空度 MPa

42

0.00820

0.09313

44

0.00910

0.09223

46

0.01009

0.09124

48

0.01116

0.09017

50

0.01234

0.08899

52

0.01361

0.08772

54

0.01500

0.08633

56

0.01651

0.08482

58

0.01815

0.08318

60

0.01992

0.08141

溫度℃

水蒸氣壓力 MPa

相應(yīng)真空度 MPa

62

0.02184

0.07949

64

0.02391

0.07742

66

0.02615

0.07518

68

0.02856

0.07277

70

0.03116

0.07017

72

0.03396

0.06737

74

0.03696

0.06437

76

0.04019

0.06114

78

0.04365

0.05768

80

0.04736

0.05397

溫度℃

水蒸氣壓力 MPa

相應(yīng)真空度 MPa

82

0.05133

0.05000

84

0.05557

0.04576

86

0.06011

0.04122

88

0.06495

0.03638

90

0.07011

0.03122

92

0.07561

0.02572

94

0.08146

0.01987

96

0.08769

0.01364

98

0.09430

0.00703

100

0.10133

0

溫度℃

水蒸氣壓力 MPa

102

0.10878

104

0.11668

106

0.12504

108

0.13390

110

0.14327

112

0.15316

114

0.16362

116

0.17465

118

0.18628

120

0.19854

溫度℃

水蒸氣壓力 MPa

122

0.21145

124

0.22504

126

0.23933

128

0.25435

130

0.27013

132

0.27831

134

0.30407

136

0.32229

138

0.34138

140

0.36138

真空計(jì)算常用公式
1、玻義爾定律體積V,壓強(qiáng)P,P·V=常數(shù)(一定質(zhì)量的氣體,當(dāng)溫度不變時(shí),氣體的壓強(qiáng)與氣體的體積成反比。即P1/P2=V2/V1)
2、蓋·呂薩克定律當(dāng)壓強(qiáng)P不變時(shí),一定質(zhì)量的氣體,其體積V與絕對(duì)溫度T成正比:(V1/V2=T1/T2=常數(shù))當(dāng)壓強(qiáng)不變時(shí),一定質(zhì)量的氣體,溫度每升高(或P降低)1℃,則它的體積比原來增加(或縮小)1/273。
3、查理定律當(dāng)氣體的體積V保持不變,一定質(zhì)量的氣體,壓強(qiáng)P與其他絕對(duì)溫度T成正比,即:P1/P2=T1/T2在一定的體積下,一定質(zhì)量的氣體,溫度每升高(或降低)1℃,它的壓強(qiáng)比原來增加(或減少)1/273。
4、平均自由程:λ=(5×10-3)/P (cm)
5、抽速:S=dv/dt (升/秒)或 S=Q/PQ=流量(托·升/秒) P=壓強(qiáng)(托) V=體積(升) t=時(shí)間(秒)
6、通導(dǎo): C=Q/(P2-P1) (升/秒)
7、真空抽氣時(shí)間:對(duì)于從大氣壓到1托抽氣時(shí)間計(jì)算式: t=8V/S (經(jīng)驗(yàn)公式)(V為體積,S為抽氣速率,通常t在5~10分鐘內(nèi)選擇。)
8、維持泵選擇:S維=S前/10
9、擴(kuò)散泵抽速估算:S=3D2 (D=直徑cm)
10、羅茨泵的前級(jí)抽速:S=(0.1~0.2)S羅 (l/s)
11、漏率:Q漏=V(P2-P1)/(t2-t1)Q漏-系統(tǒng)漏率(mmHg·l/s)V-系統(tǒng)容積(l)P1-真空泵停止時(shí)系統(tǒng)中壓強(qiáng)(mmHg)P2-真空室經(jīng)過時(shí)間t后達(dá)到的壓強(qiáng)(mmHg)t-壓強(qiáng)從P1升到P2經(jīng)過的時(shí)間(s)
12、粗抽泵的抽速選擇:S=Q1/P預(yù) (l/s)S=2.3V·lg(Pa/P預(yù))/tS-機(jī)械泵有效抽速Q(mào)1-真空系統(tǒng)漏氣率(托·升/秒)P預(yù)-需要達(dá)到的預(yù)真空度(托)V-真空系統(tǒng)容積(升)t-達(dá)到P預(yù)時(shí)所需要的時(shí)間Pa-大氣壓值(托)
13、前級(jí)泵抽速選擇:排氣口壓力低于一個(gè)大氣壓的傳輸泵如擴(kuò)散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等,它們工作時(shí)需要前級(jí)泵來維持其前級(jí)壓力低于臨界值,選用的前級(jí)泵必須能將主泵的最大氣體量排走,根據(jù)管路中,各截面流量恒等的原則有:PnSg≥PgS 或 Sg≥Pgs/PnSg-前級(jí)泵的有效抽速(l/s)Pn-主泵臨界前級(jí)壓強(qiáng)(最大排氣壓強(qiáng))(l/s)Pg-真空室最高工作壓強(qiáng)(托)S-主泵工作時(shí)在Pg時(shí)的有效抽速。(l/s)
14、擴(kuò)散泵抽速計(jì)算公式:S=Q/P=(K·n)/(P·t)(升/秒)式中:S-被試泵的抽氣速率(l/s)n-滴管內(nèi)油柱上升格數(shù)(格)t-油柱上升n格所需要的時(shí)間(秒)P-在泵口附近測得的壓強(qiáng)(托)K-滴管系數(shù)(托·升/秒)K=V0·(L/n)·(Υ0/Υm)+Pa△Vt其中V0-滴管和真空膠管的原始容積(升)L-滴管刻度部分的長度(mm)n-滴管刻度部分的格數(shù)(格)Υ0-油的比重(克/厘米3)Υm-汞的比重(克/厘米3)Pa-當(dāng)?shù)卮髿鈮簭?qiáng)(托)△Vt-滴管的刻度上的一格的對(duì)應(yīng)的容積(升/格)
15、旋片真空泵的幾何抽速計(jì)算公式:S=πZnLKv(D2-d2)/(24×104) (l/s)式中:Z為旋片數(shù),n為轉(zhuǎn)速(轉(zhuǎn)/分),L為泵腔長度,D為泵腔直徑,d為轉(zhuǎn)子直徑(cm),Kv為容積利用系數(shù)(一般取95%)。
16、O型橡膠槽深B=0.7DD為橡膠直徑,槽寬C=1.6B
17、方形橡膠槽深B=0.8AA為方形橡膠邊長,槽寬C=1.67B
選用真空泵時(shí),需要注意下列事項(xiàng):1、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。如:真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度,選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。 2、正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍,如:擴(kuò)散泵為10-3~10-7mmHg,在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi),泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化,其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi),而不能讓它在10-8mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作壓強(qiáng)應(yīng)小于1×10-5mmHg為好。 3、真空泵在其工作壓強(qiáng)下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。 4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵)對(duì)氬有一定的抽速,兩者組合起來,便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空;有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓,需要前級(jí)泵,故都需要把泵組合起來使用。 5、真空設(shè)備對(duì)油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時(shí),應(yīng)該選各種無油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達(dá)到清潔真空要求。 6、了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆粒灰塵,有無腐蝕性等。選擇真空泵時(shí),需要知道氣體成分,針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備,如冷凝器、除塵器等。 7、真空泵排出來的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。 8、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許,應(yīng)選擇無振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。 9、真空泵的價(jià)格、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修費(fèi)用。

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