罕用壓降檢漏法存在的問題及克服的措施
(1)壓降檢漏法的銳敏度
壓降法檢漏正常采納動態測試,這種動態測試正常是在初始和終止檢漏的某個工夫距離繼續。測量的銳敏度重要和測試的距離工夫、測壓儀器的最小可檢壓力無關。那末不思忖熱度和出氣效應,延伸檢漏初始到終止時測量工夫,就能夠普及測試銳敏度。然而,延伸檢漏工夫,就會增多檢漏周期,正常在單件出品的嘗試生年中,可容忍的檢漏工夫是24～48時辰。壓力降檢漏中,當熱度和壓力測試的辯白率越高,銳敏度越高,則漏率測量也就越銳敏,因而,盡可能地取舍辯白率和精度較高的測溫計和壓力計。
(2)濕度問題
在壓力降檢漏中,被檢件正常都不繼續事后抽真空,而是在大氣本底的根底上充入檢透氣體。檢透氣體蘊含有水蒸汽。那末熱度低于露點熱度,水蒸汽將凝聚在液體名義,那樣水蒸汽的壓力要從檢透氣體的總壓力中剔除。當熱度高于露點熱度,被檢件中的水蒸汽將揮發而增多被檢件大氣中的總壓力。水蒸汽的分壓力加上氣體的實在壓力形成了壓力降檢漏內中中的總壓力。那末水蒸汽的分壓力在檢漏內中中維持一成不變。因為被檢件中的總壓力滿足現實氣體方程,水蒸汽的分壓值能夠剔除。然而,當熱度產生變遷,水蒸汽的凝聚或揮發對恒定體積被檢件中大氣的總壓力將產生較大的變遷。那末不對水蒸汽產生的莫須有繼續校準,壓降檢漏法將產生較大的偏差。
在露點熱度時,大氣中水蒸汽的揮發和凝聚達成了失調,在壓力變遷檢漏中,經過露點傳感器測量露點熱度,就能夠失去水蒸汽的分壓力,表1中是常壓、常溫狀態下相反露點的水蒸汽壓力。1℃的露點熱度導致的被檢件中的壓力變遷約多少百帕。
因而高銳敏度的壓降法檢漏中,為了正當地劃算漏率真值,當被檢件中的熱度低于露點熱度時,務必從總壓力中減去水蒸汽壓力:Pg=P-Pv,那樣升高偏差。
羅茨水環真空機組、羅茨旋片真空機組
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